淺談電子廠無塵凈化車間的特點及參數(shù)
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時間：2022-07-29
電子廠凈化車間的特點：
電子廠凈化車間等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外電子廠凈化車間對靜電要求相當嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)容易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠凈化車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子廠凈化車間的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。
我們舉例拿杭州兆奕科技電子廠無塵車間為例：就要求做到十萬級無塵車間恒溫恒濕的特殊要求，既可以保障產(chǎn)品質(zhì)量又可以防止靜電，還可以讓人員有個較好的環(huán)境下作業(yè)，如圖所示：
電子廠無塵車間 I EPURZAN翼展
電子廠無塵車間參數(shù)：
1、萬級電子廠無塵車間內(nèi)的噪聲級(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)。
2、電子廠無塵車間垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
3、電子廠無塵車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
4、電子廠無塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的較大值：
(1)補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
(2)保證供給電子廠凈化車間內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
(3)電子廠凈化車間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫斷電保護，若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。無塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項較大值：保證凈化車間空氣潔凈度等級的送風(fēng)量;根據(jù)熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
5、電子廠無塵車間對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動±2℃。秋冬季潔凈車間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車間空氣濕度控制在50-70%。
6、配電：潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用地一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過道等的照度值宜為200~300Lx。
